摘要
正性光感式ポリイミド（p-PSPI）の光感性樹脂を取り巻く研究を行い、前駆体イミードのエステル化度を制御するための効果的な方法を開発し、50°Cで2時間反応させた際の最適エステル化条件を確定しました。フォトリソリ疗法プロセスでは、現像液の濃度、感光剤の含有量、前焼き温度と時間などの要因が、このタイプのp-PSPIポリイミドの光化学反応に及ぼす影響について、深く研究しました。365 nmの紫外線照射において、コントラストは2.5に達し、感度は70 mJ/cm2で、優れた解像力を示し、ガラス板上で10µm、シリコンウェハ上で3µmに達することができます。イミードエステル化はポリイミドのエステル化度を著しく向上させ、現像プロセス中のフォトレジストの溶解速度の違いを改善し、優れたリソグラフィ能力を示し、半導体、集積回路などの分野での広範囲な適用可能性があります。
关键词
光感性ポリイミド; エステル化; フォトリソリ疗法プロセス; 光感性特性