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聚酰亚胺LB膜热解制备SiC薄膜的XPS研究
聚酰亚胺LB膜热解制备SiC薄膜的XPS研究
STUDY ON THE PROCESS OF PREPARING SiC FILM BY PYROLYSIS OF POLYIMIDE LB FILM
- 2002年第2期 页码：208-212
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