研究论文 | 更新时间:2021-03-19
    • 薄层软刻蚀法制备PMMA微图案结构

    • MICROPATTERNS OF PMMA FABRICATED BY THIN LAYER SOFT LITHOGRAPHY

    • 刘建平 ,石锦霞 ,杨小敏 ,何平笙 ,杨海洋
    • 高分子学报 2007年第1期 页码:42-46

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西华大学材料科学与工程学院
电子科技大学基础与前沿研究院
中山大学化学与化学工程学院高分子研究所
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