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正性远紫外抗蚀剂 Ⅱ.聚苯乙烯砜的荧光光谱研究
正性远紫外抗蚀剂 Ⅱ.聚苯乙烯砜的荧光光谱研究
A POSITIVE DEEP UV PHOTORESIST Ⅱ. A Study of Fluorescence Spectra of Poly (Styrens-Sulfone)
- 1984年第6期 页码：414-419
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