负型远紫外抗蚀剂——聚乙烯咔唑-双叠氮系

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

负型远紫外抗蚀剂——聚乙烯咔唑-双叠氮系

研究论文 | 更新时间：2021-03-19

上一篇|下一篇

- 负型远紫外抗蚀剂——聚乙烯咔唑-双叠氮系
- POLYVINYLCABAZOL-DIAZIDE--A NEGATIVE DEEP UV RESIST
- 冯树京，杨永源，高志民
- 高分子学报 1986年第6期页码：448-452
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 稿件说明：
移动端阅览
DOI：
DOI：

HTML全文
参考文献
出版信息
数据统计

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

78

浏览量

150

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

BibTeX下载
Endnote下载
RefMan 下载
NoteExpress下载
NoteFirst下载

关联资源

相关文章

含无醚键亲水单元磺化双二氮杂萘酮聚芳醚酮质子交换膜的制备与性能

侧链含萘酰亚胺聚硅氧烷的制备及其与高岭土协同阻燃聚碳酸酯研究

顺序双掺杂策略：协同提高共轭聚合物的电导率

原位交联的聚合物包覆层稳定LiNi0.6Co0.2Mn0.2O2正极

废塑料升级化学回收制备金属-有机框架材料

相关作者

暂无数据

相关机构

暂无数据

AI问答