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交联SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子动力学模拟
交联SU-8光刻胶与Ni基底结合性的分子动力学模拟
MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION OF THE BINDIND PROPERTY BETWEEN CROSS-LINKED SU-8 PHOTORESIST AND Ni SUBSTRATE
- 2010年第6期 页码：629-634
DOI： 10.3724/SP.J.1105.2010.09196
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