负型远紫外抗蚀剂——聚乙烯咔唑-双叠氮系

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负型远紫外抗蚀剂——聚乙烯咔唑-双叠氮系

研究论文 | 更新时间：2021-03-19

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- 负型远紫外抗蚀剂——聚乙烯咔唑-双叠氮系
- POLYVINYLCABAZOL-DIAZIDE--A NEGATIVE DEEP UV RESIST
- 冯树京，杨永源，高志民
- 高分子学报 1986年第6期页码：448-452
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