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聚乙烯吡咯烷酮杂化双色光敏激光直写光刻胶研究
研究论文 | 更新时间：2024-10-08
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    • 聚乙烯吡咯烷酮杂化双色光敏激光直写光刻胶研究

    • Polyvinylpyrrolidone Hybrid Photoresist for Two-color Sensitive Direct Laser Writing

    • 曹春 ，邱毅伟 ，刘建亭 ，朱大钊 ，丁晨良 ，杨臻垚 ，匡翠方 ，刘旭
    • 高分子学报 2022年53卷第6期 页码：608-616
    • 作者机构：

      1.之江实验室 交叉创新研究院 智能芯片与器件研究中心 杭州 311121

      2.中国科学院化学研究所 绿色印刷重点实验室 北京分子科学国家研究中心 北京 100190

      3.浙江大学光电科学与工程学院 杭州 310027

    • 作者简介：

      E-mail: caochun@iccas.ac.cn;

      E-mail:cfkuang@zju.edu.cn

    • DOI： 10.11777/j.issn1000-3304.2021.21323     

      中图分类号：

    • 录用：2021-12-14 ，

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