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面向亚5 nm图案化含硅嵌段共聚物的合成与自组装
综述 | 更新时间：2024-10-08
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    • 面向亚5 nm图案化含硅嵌段共聚物的合成与自组装

    • Synthesis and Self-assembly of Silicon-containing Block Copolymers for Sub 5 nm Nanolithography

    • 陶永鑫 ，陈蕾蕾 ，刘一寰 ，胡欣 ，朱宁 ，郭凯
    • 高分子学报 2022年53卷第12期 页码：1445-1458
    • 作者机构：

      1.南京工业大学，生物与制药工程学院 材料化学工程国家重点实验室，南京 211800

      2.南京工业大学，材料科学与工程学院，南京 211800

    • 作者简介：

      E-mail: xinhu@njtech.edu.cn

      ningzhu@njtech.edu.cn

    • DOI： 10.11777/j.issn1000-3304.2022.22133     

      中图分类号：

    • 录用：2022-05-27 ，

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