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由光敏性全氢聚硅氮烷制备透明高硬SiO微/纳米结构压印模板
由光敏性全氢聚硅氮烷制备透明高硬SiO微/纳米结构压印模板
HIGH RESOLUTION SILICA IMPRINTING MOLD FABRICATED FROM A PHOTOCURABLE PERHYDROPOLYSILAZANE
- 2012年第1期 页码:56-62
DOI: 10.3724/SP.J.1105.2012.11062
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