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基于羧酸肟酯光敏基团的非化学放大型聚合物光刻胶
研究论文 | 更新时间：2024-11-15
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    • 基于羧酸肟酯光敏基团的非化学放大型聚合物光刻胶

    • Nonchemically-amplified Resists Based on Photosensitive Oxime Ester Functionalized Polystyrene

    • 安惠雯 ，廉鹏 ，陈金平 ，于天君 ，曾毅 ，李嫕
    • 高分子学报 2024年55卷第10期 页码：1313-1324
    • 作者机构：

      1.中国科学院理化技术研究所 光化学转换与功能材料重点实验室 北京 100190

      2.中国科学院大学 北京 100049

    • 作者简介：

      E-mail: chenjp@mail.ipc.ac.cn

      yili@mail.ipc.ac.cn

    • DOI： 10.11777/j.issn1000-3304.2024.24065     

      中图分类号：

    • 录用：2024-04-03 ，

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