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含肉桂酰基自增感光敏聚酰亚胺的合成及光刻工艺探索
含肉桂酰基自增感光敏聚酰亚胺的合成及光刻工艺探索
Synthesis of Cinnamoyl-containing Self-enhancing Photosensitive Polyimides and Exploration of Lithographic Processes
- 2024年55卷第10期 页码:1325-1334
DOI: 10.11777/j.issn1000-3304.2024.24074
录用:2024-05-22
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