正性远紫外抗蚀剂 Ⅰ.聚苯乙烯砜的研究

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正性远紫外抗蚀剂 Ⅰ.聚苯乙烯砜的研究

研究论文 | 更新时间：2021-03-19

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- 正性远紫外抗蚀剂 Ⅰ.聚苯乙烯砜的研究
- A POSITIVE DEEP UV PHOTORESIST——Ⅰ. A Study of Poly (Styrene-Sulfone)
- 杨永源，高志民，冯树京，吴世康
- 高分子学报 1984年第6期页码：408-413
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