乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合物膜的结构与性能

颜文革; 陈捷; 卢丽珍; 王世才

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乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合物膜的结构与性能

研究论文 | 更新时间：2021-03-19

- 乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合物膜的结构与性能
- THE STRUCTURE AND PROPERTIES OF PLASMA POLY MERIZED VINYLTRIMETHYLSILANE
- 高分子学报 1990年第1期页码：36-44
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  中图分类号：
- 纸质出版日期：1990-2-20，
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颜文革, 陈捷, 卢丽珍, 王世才. 乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合物膜的结构与性能[J]. 高分子学报, 1990,(1):36-44.

YAN Weng-e, CHEN Jie, LU Li-zhen, WANG Shi-cai. THE STRUCTURE AND PROPERTIES OF PLASMA POLY MERIZED VINYLTRIMETHYLSILANE[J]. Acta Polymerica Sinica, 1990,(1):36-44.
颜文革, 陈捷, 卢丽珍, 王世才. 乙烯基三甲基硅烷等离子体聚合物膜的结构与性能[J]. 高分子学报, 1990,(1):36-44. DOI：

YAN Weng-e, CHEN Jie, LU Li-zhen, WANG Shi-cai. THE STRUCTURE AND PROPERTIES OF PLASMA POLY MERIZED VINYLTRIMETHYLSILANE[J]. Acta Polymerica Sinica, 1990,(1):36-44. DOI：

摘要

采用外部电极电容耦合高频等离子体装置对乙烯基三甲基硅烷(VTMS)进行等离子体聚合。用IR、XPS、PGC/MS、X-ray、ESR和元素分析等方法对聚合物结构进行表征

并推断聚合反应历程。应用TG研究聚合物的热性能。通过X-ray证实聚合物为非晶结构。在无添加气体存在时聚合

XPS测试结果表明产物中有氧嵌入

且聚合物的C/Si比总的说来比单体的C/Si比低。TG的测试结果表明聚合物膜具有优良的热稳定性。

Abstract

In a capacitively coupled discharge witih external electrodes

vinyltrimethylsilane (VTMS) was polymerized. The polymer structure was characterized with IR

XPS

PGC/MS

X-ray

ESR and elemental analysis. A polymerization mechanism was speculated. The thermal property of the polymer was studied by means of TG analysis. The polymer is found to be amorphous through X-ray study. XPS examination indicates that oxygen is incorporated into the polymer chain when plasma gases are not added

and the C/Si ratios of poly-mer are lower than that of polymer in general. TG study indicates that the polymer has better thermal stability.

关键词

等离子体聚合乙烯基三甲基硅烷IRXPS

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