八氟环丁烷等离子体聚合物结构的ESCA和IR表征

叶牧; 陈捷; 卢丽珍; 陈传正; 岳进

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八氟环丁烷等离子体聚合物结构的ESCA和IR表征

研究论文 | 更新时间：2021-03-19

- 八氟环丁烷等离子体聚合物结构的ESCA和IR表征
- ESCA AND IR CHARACTERIZATION OF PLASMA-POLYMERIZED OCTAFLUOROCYCLOBUTANE STRUCTURE
- 高分子学报 1987年第3期页码：171-176
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  中图分类号：
- 纸质出版日期：1987-6-20，
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叶牧, 陈捷, 卢丽珍, 陈传正, 岳进. 八氟环丁烷等离子体聚合物结构的ESCA和IR表征[J]. 高分子学报, 1987,(3):171-176.

YE Mu, CHEN Jie, LU Li-zhen, CHEN Chuan-zheng, YUE Jin. ESCA AND IR CHARACTERIZATION OF PLASMA-POLYMERIZED OCTAFLUOROCYCLOBUTANE STRUCTURE[J]. Acta Polymerica Sinica, 1987,(3):171-176.
叶牧, 陈捷, 卢丽珍, 陈传正, 岳进. 八氟环丁烷等离子体聚合物结构的ESCA和IR表征[J]. 高分子学报, 1987,(3):171-176. DOI：

YE Mu, CHEN Jie, LU Li-zhen, CHEN Chuan-zheng, YUE Jin. ESCA AND IR CHARACTERIZATION OF PLASMA-POLYMERIZED OCTAFLUOROCYCLOBUTANE STRUCTURE[J]. Acta Polymerica Sinica, 1987,(3):171-176. DOI：

摘要

采用外部电极电容耦合的等离子体聚合装置

以Ar、N2H2和Hc为等离子气体

在不同功率、压力、等离子气体及等离子气体对单体比率的反应条件下

在辉光放电中进行八氟环丁烷聚合。用电子能谱(ESCA)和红外光谱(IR)法对聚合物结构进行表征。发现聚合物中存在C、F、Si、O、N和H等六种元素

并对可能存在的基团进行探讨。通过对ESCA(C18 谱的分析

研究了聚合物支化与交联程度对反应条件的依赖关系

及其和聚合与刻蚀竞争历程之间存在的内在联系。

Abstract

In a capacitively coupled discharge with external electrodes

H2 or He was used as plasma gas

polymerization of octafluorocyclobutane was carried out under different conditions by varying discharge power

pressure

plasma gas and plasma-gas/monomer ratio. Structure of polymerized products was characterized by IR spectroscopy and ESCA measurement. It was determined that there were six elements in the products

i.e. C

N and H. The probably existed groups in the polymers were investigated. By analyzing the resolved peaks of C18 region in ESCA spectra

effect of the reacion condtions on degree of branching and cross-linking of the polymerized products was discussed.

关键词

等离子体聚合八氟环丁烷支化和交联ESCAIR表征

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